1 Состояние вопроса исследования и актуальность работы Технология производства деталей современных машин и приборов требует широкого применения методов, обеспечивающих высокое качество обработки. Повышению качества и точности обработки способствует применение ряда методов финишной обработки, например, доводки свободным абразивом [1-5].Однако, несмотря на широкое распространение этот процесс обладает и рядом существенных недостатков: процесс трудно поддается автоматизации, обладает сравнительно низкой производительностью, обслуживать оборудование должны операторы высокой квалификации. Такой процесс существенно зависит от обрабатываемого материала, материала инструмента, абразивного материала, состава жидкой фазы, формы и геометрии обрабатываемой поверхности, кинематики движения инструмента и детали, силового режима обработки и многих других факторов. По-видимому, это обстоятельство и является причиной того, что для объяснения физической сущности процесса до сегодняшнего дня высказывается ряд гипотез: механическая, пластического деформирования, химическая, оплавления [6, 7].Известные недостатки доводочных методов заставляют искать пути и средства повышения эффективности финишных операций, а также новые методы обработки. К числу прогрессивных методов финишной обработки можно отнести электрохимикомеханическое полирование (ЭХМП) [8-10]. Однако его широкое промышленное использование сдерживается недостаточным исследованием механизма процесса, физико-технологическими особенностями, в том числе влиянием основных параметров процесса на технологические возможности и показатели. 2 Материалы и методы  Сочетание анодного растворения, обладающего высокими локализующими свойствами, с динамическими воздействиями абразивных зерен позволяет обеспечить высокое геометрическое качество обработанной поверхности и высокую производительность процесса. Массоперенос при ЭХМП обусловлен процессами анодного растворения и абразивного резания обрабатываемой поверхности. Под воздействием технологического напряжения происходит непрерывное электрохимическое растворение обрабатываемой поверхности с образованием на ней окисных пленок. Абразивные зерна, квазизакрепленные в полировальнике, удаляют эти окисные пленки и часть основного металла. Работа, затрачиваемая абразивными зернами на удаление окисных пленок, значительно меньше работы по удалению основного металла, что можно объяснить, в частности, меньшей механической прочностью окисных пленок по сравнению с основным металлом [11-13]. Это способствует повышению производительности обработки.Для более широкого изучения механизма процесса ЭХМП и для выявления оптимальных режимов обработки необходимы экспериментальные исследования по изучению влияния параметров процесса на его технологические показатели, в частности, на производительность и шероховатость обрабатываемой поверхности.Исследования выполнялись в АО «Конструкторское бюро химавтоматики» (г. Воронеж) на экспериментальных установках, выполненных на базах универсального притирочного станка мод. И-400 и полировально-доводочного станка мод. ПД-500М. Были разработаны инструмент и необходимая технологическая оснастка для обработки как плоских, так и сферических поверхностей.Обрабатывались медные образцы площадью 80 см2, имевшие шероховатость поверхности Ra = 2,5 мкм. Шероховатость обрабатываемой поверхности при анодном растворении зависит от ряда факторов, одним из которых является структура обрабатываемого металла. Известно, что кислород мало растворим в меди в твердом состоянии. При затвердевании меди кислород выделяется виде эвтектики медь-закись меди, располагающейся по границам кристаллитов. При анодном растворении электрохимическая гетерогенность границы и зерна обуславливает существенное различие в скоростях их растворения, что в конечном счете отрицательно скажется на шероховатости поверхности. Поэтому при обработке медных образцов методом ЭХМП применялась медь с пониженным содержанием кислорода М1Ф (ГОСТ 1173-2006). Электролит для обработки выбирался согласно рекомендациям, имеющимся в литературных источниках [14-16], а также на основе предварительных экспериментов. В качестве электролита в исследованиях использовался водный раствор NaNO2 и CaCl2. При обработке мягких материалов рекомендуется в качестве абразива использовать окислы мягких металлов [17, 18]. Поэтому для исследований была выбрана окись хрома, концентрация которого в растворе электролита составляла 50, 100, 200 г/л. В ходе экспериментов напряжение было постоянным. В качестве материала полировальника, поддерживающего гарантированный межэлектродный зазор между обрабатываемой деталью и катодом, использовались различные натуральные и искусственные ткани [19]. 3 Результаты исследований Проведенные исследования показали, что увеличение весового содержания абразива в составе электролитно-абразивной смеси приводит к некоторому повышению съема металла (рис. 1), но при достижении концентрации абразива 100-150 г/л происходит увеличение шероховатости обрабатываемой поверхности (рис. 2). Это можно объяснить, в частности, тем, что электролитно-абразивная смесь при повышенной концентрации абразива более густая и при попадании на полировальник распределяется неравномерно по его рабочей поверхности. С другой стороны, повышенное содержание абразива на рабочей поверхности полировальника уменьшает долю электрохимической составляющей.  1 – концентрации абразива; 2 – скорости абразива; 3 – давления абразива Рисунок 1 – Зависимости скорости съема металла от технологических факторов    1 – концентрации абразива; 2 – скорости абразива; 3 – давления абразива Рисунок 2 – Зависимости шероховатости от технологических факторов Увеличение давления обрабатываемой детали на полировальник до 0,42 МПа приводит к увеличению производительности процесса (рис. 1). Дальнейшее увеличение давления несколько снижает съем материала, что объясняется выдавливанием электролита краем детали из материала полировальника, а также уменьшением влияния абразива на съем. Низкая шероховатость поверхности получена при давлениях 0,15-0,2 МПа. Отклонение давления от этого значения в ту или иную сторону приводит к некоторому увеличению шероховатости обработанной поверхности (рис. 2). Это, возможно, вызвано тем, что с увеличением давления на обрабатываемой поверхности появляются риски и царапины от материала полировальника.Частота вращения полировальника незначительно влияет на производительность процесса ЭХМП. Увеличение скорости свыше 25 об/мин приводит к некоторому уменьшению съема материала. Видимо, под действием центробежных сил с рабочей поверхности полировальника удаляется часть электролитно-абразивной смеси. 4 Обсуждение и заключение Полученные результаты проведенных экспериментов показали, что при оптимальных значениях исследуемых параметров процесс ЭХМП достаточно производителен и можно получать значение шероховатости обработанной поверхности меди на уровне Ra ≈ 0,1 мкм. Для получения поверхностей более низкой шероховатости необходимо исследовать влияние других технологических параметров и оптимизировать их.