TY JOUR TI ИМПУЛЬСНАЯ МОДУЛЯЦИЯ КАК СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ КАЧЕСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ KW импульсная модуляция KW плазменные покрытия KW свойства покрытий JO Воронежский научно-технический вестник AU Кадырметов, А.М. AU Бухтояров, В.Н. AU Попов, П.Н. PY 2020 IS 3 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова