%0 Journal Article %T СВОЙСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙ, НАПЫЛЕННЫХ В РЕЖИМЕ МОДУЛЯЦИИ МОЩНОСТИ ДУГИ %A Кадырметов, А.М. %A Снятков, Е.В. %A Плахотин, А.А. %A Мандрыкин, И.А. %K ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ДВУХПОЛЯРНАЯ МОДУЛЯЦИЯ, ПРОЧНОСТЬ СОЕДИНЕНИЯ ПОКРЫТИЯ С ОСНОВОЙ, ГАЗОПРОНИЦАЕМОСТЬ, СВОЙСТВА. %J Воронежский научно-технический вестник %D 2022 %N 2 %P 6 %I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова