00959naa#a2200193#i#4500001001500000005001700015011001400032100004100046102000700087200017400094210016900268215001000437608004500447675008800492700005600580700006200636700004600698856002100744RU\\bibl\4046020240507024912.2##a2311-8873##a20201111b2020####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aИМПУЛЬСНАЯ МОДУЛЯЦИЯ КАК СПОСОБ ПОВЫШЕНИЯ  КАЧЕСТВА ПЛАЗМЕННЫХ ПОКРЫТИЙeЖурнальная статья1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2020##a3 с.##aЖурнальная статья2local##aИнженерное дело. Техника в целом. Транспорт. 62#1aКадырметовgАнвар Минирович#1aБухтояровgВладимир Николаевич#1aПоповgПетр Николаевич4#avntv.editorum.ru