Санкт-Петербург, г. Санкт-Петербург и Ленинградская область, Россия
ВАК 2.5.6 Технология машиностроения
УДК 621.03 Физические основы машиностроения. Техническая физика
В данной статье рассмотрена технологическая возможность управления параметрами шероховатости поверхности в широком диапазоне значений, от обработки поверхностей, выполненных на заготовительных операциях до финишной обработки на наноуровне. В исследованиях использовались образцы из сталей 20Х13, 08Х18Н9Т, AISI 304, AISI 310, материалы полученные SLM технологией, сталь AISI 316L, никелевые жаропрочные сплавы ЭП648, Инконель 718. Показано, что технологически обработка предполагает последовательное выполнение комбинированной обработки фокусированной струей электролитной плазмы с последующей финишной обработкой фокусированной плазмой разряда подобного тлеющему. Показано, что предварительная обработка позволяет снизить параметр шероховатости с Ra 80 мкм до Ra 0,2 мкм для разных нержавеющих сталей и сплавов, полученных технологией SLM, а финишная обработка позволяет снизить параметр шероховатости с Ra 0,2 до Ra 0,004 мкм, как например для нержавеющей стали 08Х18Н9Т. Атомно-силовая микроскопия показывает, что поверхность образцов из нержавеющей стали после струйной электролитно-плазменной обработки имеет среднеарифметическую высоту поверхности Sa 11,713 нм на 2499,515 мкм2. Результаты данных исследований могут быть использованы для обработки поверхности нержавеющих сталей и сплавов в медицине и других областях.
АНОД, ЭЛЕКТРОЛИТ, СТРУЯ, ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РАЗРЯД, ПАРАМЕТРЫ ШЕРОХОВАТОСТИ, МЕДИЦИНСКАЯ ТЕХНИКА
1 Состояние вопроса исследования и актуальность работы
Обеспечение технологической безопасности России во многом зависит от внедрения новых решений, их апробации и, что важно, от разработки технических идей. Университеты играют значительную роль в генерации таких идей [1-4]. Одной из них актуальной на сегодня является идея, связанная с задачей управления параметрами шероховатости поверхности. Она особенно важна при производстве медицинской техники. Прежде всего, это связано с возможностью получения антибактериальных поверхностей, внедрением новых материалов [5-8]. Между тем, получение поверхности с низким параметром шероховатости Ra представляет собой определенную трудность. Это связано с применяемыми технологическими методами для снижения шероховатости. Среди них можно выделить механические, химические, электрохимические, электроэрозионные, электролитно-плазменные методы обработки поверхности. Механическое полирование позволяет получить параметр шероховатости Ra 0,05-0,4 мкм. Однако высокая трудоемкость ограничивает применение данного метода [9]. Химическим полированием с использованием сильных кислот можно получить минимальный параметр шероховатости Ra 0,8-0,2 мкм, при этом необходимо отметить отрицательное влияние процесса на здоровье обслуживающего персонала [10]. Электрохимический метод обработки в значительной мере снижает отрицательные факторы и позволяет снизить минимальный параметр шероховатости до Ra ≤ 0,01 мкм [10, 11]. Метод электроэрозионной обработки позволяет получить чрезвычайно низкий параметр шероховатости Ra 0,002-0,32 мкм [12]. Однако данная технология имеет ограничения по конфигурации и размеру обрабатываемых изделий. Авторы работ [13-17] показывают возможность достижения минимального параметра шероховатости для нержавеющих сталей и титановых сплавов при электролитно-плазменной обработке в электролитической ванне в диапазоне Ra 0,060-0,004 мкм. Конкурирующим способом обработки в электролитической ванне является струйная электролитно- плазменная обработка. В наших работах показана возможность достижения электролитно-плазменной обработкой минимального параметра шероховатости поверхности в диапазоне Ra 0,034-0,020 мкм [18, 19]. Зарубежные авторы показывают достижение среднеарифметической высотной величины шероховатости поверхности Sa 29 нм для обработки в электролитической ванне и Sa 80 нм для струйной обработки [20, 21]. Обработка струей электролита имеет преимущества перед обработкой в электролитической ванне за счет более высокой скорости достижения заданного параметра шероховатости при достижении более высокой точности обработки и более низкой шероховатости поверхности [18, 19]. Однако до сих пор остается неясным вопрос о том, в каком диапазоне можно управлять параметрами шероховатости поверхности струйной обработкой и получать результаты, сопоставимые с обработкой в электролитической ванне.
Целью работы является анализ технологической возможности управления параметрами шероховатости нержавеющих сталей в процессе струйной комбинированной электролитно-плазменной обработки.
Задачами работы являются проведение оптической, электронной, атомно-силовой микроскопии, анализ морфологии поверхности и параметров шероховатости, динамика изменения параметра шероховатости Ra после струйной электролитно-плазменной обработки.
2 Материалы и методы
При проведении научных исследований была использована экспериментальная установка для струйной комбинированной электролитно- плазменной обработки. Установка имеет патент № 2623555 (правообладатель СПбПУ) [22]. Сущность комбинированной обработки заключается в последовательном технологическом подходе, заключающемся в предварительной обработке поверхности образцов электролитической струей, а затем финишном снятии микрообъемов материала для получения поверхности с низким параметром шероховатости поверхности Ra.
а) б)
Рисунок 1 – Принципиальные схемы струйной комбинированной электролитно-плазменной обработки струей электролита (а) и струйным объемным разрядом (б)
В исследованиях комбинированной обработке подвергались образцы из нержавеющих сталей 20Х13, 08Х18Н9Т, AISI 304, AISI 310, а также материалов из AISI 316L, ЭП648, Инконель 718, полученных технологией лазерного сплавления SLM. Образцы сталей были нарезаны лазером и механическими ножницами с размерами 30х30х1,5 мм, 50х50х1 мм. Образцы сплавов были напечатаны на 3D-принтере с размерами 30х20х2 мм. В качестве электролитов использовались растворы солей Na2SO4 и (NH4)2SO4.
В исследованиях использовался диапазон режимов для струйной комбинированной электролитно-плазменной обработки (табл. 1).
Таблица 1 – Исходные данные эксперимента
|
Параметр |
Электрохимический режим |
Электролитно-плазменный режим |
|
Концентрация, г/л |
20-40 |
20-40 |
|
Время обработки, с |
660 |
2200 |
|
Напряжение, В |
20-130 |
200-380 |
|
Ток разряда, А |
1-5 |
0.01-0.5 |
|
Минутная подача, мм/мин |
180-500 |
20-100 |
|
Объемный расход электролита, л/ч |
10-90 |
2-10 |
Измерение параметров шероховатости поверхности проводили с использованием прибора измерения шероховатости профилометра MarSurf M 400 (Германия), профилометра MarSurf PS10 (Германия) со стандартным щупом PHT6-350, координатно-измерительной машины (КИМ) Mitutoyo модели Crysta-Apex S574 серии 191 (Япония) с измерительным датчиком Surftest SJ-310.
Оценку морфологии поверхности проводили с использованием металлографического микроскопа МЕТАМ ЛВ 31 (ЛОМО, Россия), съемкой с окуляра мобильным устройством Redmi, растровых электронных микроскопов SUPRA 55VP-25-78 (Германия), и Fei Inspect F50 (США), а также атомно-силового микроскопа модели Ntegra Aura (Россия) с виброизоляцией. Измерения на атомно-силовом микроскопе проводились полуконтактным методом по двум осям. Паспортный уровень шумов атомно-силового микроскопа по осям < 0,1 нм [23, 24].
3 Результаты исследований
3.1.1 Исследование поверхности сплавов, полученных технологией SLM методами оптической микроскопии
Воздействие струи электролитной плазмы на поверхность образцов сталей и сплавов, полученных технологией SLM и исследование процесса изменения морфологии поверхности методами оптической микроскопии нами подробно изложено в предыдущих работах [18, 19, 25]. Важным критерием, определяющим достижение конечного минимального параметра шероховатости поверхности, является подготовка поверхности и переход граничных условий нанометрового диапазона параметра шероховатости Ra, соответствующих величинам 0,1-0,2 мкм. Этому же диапазону соответствует и предельное достижение на сегодня параметра шероховатости Ra при выравнивании поверхности никелевых жаропрочных сплавов ЭП648, Инконель 718 и стали AISI 316L (рис. 2.). Это связано, прежде всего, с наличием многочисленных дефектов поверхности и объема, сформированных в процессе сплавления частиц металла и последующего гидростатического прессования образцов после технологии SLM.
3.1.2 Исследование исходной поверхности из стали 08Х18Н9Т при малом начальном параметре Ra 0,4 мкм
Анализ морфологии поверхности без струйной фокусированной обработки показывает, что на поверхности имеются риски, не совпадающие с направлением неровностей шероховатости толщиной от 0,5-10 мкм (рис 3, а, б). Исходная поверхность имеет следы дефектов металлургического характера: поры, лунки с острыми краями по границам зерен (рис 3, а, б). При увеличении разрешения на снимке выявляются зерна металла разных размеров от 1 до 10 мкм (рис 3, б, в). Наблюдается четкое формирование границ зерен, как более легко удаляемой фазы металла (рис 3, б, в). Ширина границ зерен составляет величину от 0,1 до 0,4 мкм (рис 3, б, в).
3.1.3 Исследование поверхности стали 08Х18Н9Т при малом начальном параметре Ra 0,4 мкм после струйной электролитно-плазменной обработки
Анализ морфологии поверхности, полученной после струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки, показывает, что поверхность имеет ровный гладкий вид с отдельными дефектами в виде несплошностей (углублений) неправильной формы металлургического происхождения, полученных при прокатке листового материала (рис. 4, а).
Размеры дефектов составляют Ø 0,1-0,3 мм (рис. 4, а). Увеличение разрешения поверхности показывает, что поверхность в нескольких местах пересекается рисками случайного происхождения (рис. 4, б). На поверхности наблюдаются многочисленные места выхода дислокаций и границы кристаллитов (рис. 4, б).
|
а) Инконель718 (SLM); б) ЭП 648 (SLM); в) AISI 316L (SLM); г) 08Х18Н9Т (прокатка)
Рисунок 2 – Динамика |
а) поле 150×250 мкм; б) поле 75×125 мкм; в) поле 25×15 мкм; г) поле 25×15 мкм
Рисунок 3 – Исходная морфология поверхности образца из стали 08Х18Н9Т,
полученного прокаткой (РЭМ Fei Inspect F50)
а) поле 350х250 мкм; б) поле 12,5х7,5 мкм
Рисунок 4 – Морфология поверхности образца из стали 08Х18Н9Т, полученного прокаткой после струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки поверхности
(РЭМ Fei Inspect F50)
3.2 Результаты измерений параметров шероховатости
3.2.1 Исследование поверхности после струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки при исходном параметре шероховатости Ra 0,4 мкм
Измерение высоты микронеровностей поверхности профилометром Surftest SJ-310 показывает высоту средней линии, равную 0,005 мкм на базовой длине 0,8 мм при наибольшей высоте неровностей профиля Rmax, находящейся в диапазоне значений от -0,062 до 0,072 мкм (рис. 5).
Рисунок 5 – Профилограмма поверхности образца, полученная
на координатно-измерительной машине (КИМ) Mitutoyo модели Crysta-Apex S574
серии 191 с измерительным датчиком Surftest SJ-310
Анализ воздействия струйной фокусированной электролитной плазмы на поверхность образца из стали 08Х18Н9Т, полученного методом прокатки, показывает, что при исходной шероховатости Ra 0,4 мкм после струйной электролитно-плазменной обработки достигается параметр шероховатости Ra 0,019 мкм при длине трассы ощупывания Lt = 0,560 мм [26]. Результаты измерения представлены на рис. 6.
В результате исследований, выполненных на атомно-силовом микроскопе модели Ntegra Aura по оценке 3D-параметров поверхности при объеме выборки 65536 As и площади выборки 2499,515 мкм2 нами получены следующие данные, приведенные в табл. 2.
Важным параметром при этом является то, что средняя арифметическая высота поверхности, полученная на площади выборки 2499,515 мкм2 составила величину 11,713 нм. Измеренные параметры шероховатости для числа выборки 255,l и длине выборки 49,799 мкм приведены в табл. 3.
а) б)
Рисунок 6 – Результат измерения образца нержавеющей стали 08Х18Н9Т прибором измерения шероховатости профилометре MarSurf M 400
Таблица 2 – Результаты оценки 3D параметров поверхности [27]
|
Обозначение параметра |
Наименование параметра |
Среднее значение ординаты |
Размерность |
|
Параметры высоты |
|||
|
Sq |
Среднеквадратичная высота поверхности |
14,471 |
нм |
|
Ssk |
Эксцесс распределения высоты |
2,839 |
|
|
Ssk |
Неравномерность распределения по высоте |
-0,181 |
|
|
Sz |
Максимальная высота поверхности |
156,959 |
нм |
|
S10z |
Высота десяти точек |
118,353 |
нм |
|
Sp |
Максимальная высота пика |
134,639 |
нм |
|
Sv |
Максимальная глубина впадины |
22,319 |
нм |
|
Пространственные параметры |
|||
|
Sds |
Плотность вершин поверхности |
2,112 |
1/мкм2 |
|
Ssc |
Средняя кривизна вершин |
0,309 |
1/мкм |
|
Std |
Направление текстуры поверхности |
-59,062 |
град |
|
Stdi |
Индекс направления текстуры поверхности |
0,664 |
|
|
Srw |
Радиальная длина волны |
50,191 |
мкм |
|
Srwi |
Радиальная длина волны |
0,0286 |
|
|
Гибридные параметры |
|||
|
Sdq |
Среднеквадратичный уклон поверхности |
0,0422 |
|
|
Sdq6 |
Среднеквадратичный уклон площади |
0,0287 |
|
|
S2A |
Проектируемая площадь |
2499,515 |
|
|
S3A |
Площадь поверхности |
2501,739 |
|
|
Sdr |
Коэффициент площади поверхности |
0,0889 |
% |
|
Стандартная статистика. Параметры стандартной статистики |
|||
|
|
Объем выборки |
65536 |
|
|
|
Площадь выборки |
2499,515 |
мкм2 |
|
|
Среднее значение |
38,298 |
нм |
|
|
Минимальное |
-22,319 |
нм |
|
|
Максимальное |
134,639 |
нм |
|
|
Расстояние от вершины до пика |
156,959 |
нм |
|
|
Среднеквадратичное значение, RMS |
14,471 |
нм |
|
|
Средняя шероховатость |
11,713 |
нм |
|
Ssk |
Асимметрия |
-0,181 |
|
|
Ska |
Эксцесс |
2,839 |
|
Таблица 3 – Измеренные параметры шероховатости [28, 29]
|
Обозначение параметра |
Наименование параметра |
Среднее значение ординаты |
Размерность |
|
Параметры амплитуды |
|||
|
Ra |
Среднее арифметическое отклонение профиля |
14,092 |
нм |
|
Rq |
Среднеквадратичное отклонение профиля |
16,870 |
нм |
|
Rsk |
Асимметрия профиля |
0,0722 |
- |
|
Rku |
Эксцесс профиля |
2,570 |
- |
|
Параметры амплитуды (пик и впадина) |
|||
|
Rmax |
Максимальная высота профиля |
81,909 |
нм |
|
Rp |
Максимальная высота пика профиля |
48,033 |
нм |
|
Rv |
Максимальная глубина впадины профиля |
33,876 |
нм |
|
Rz |
Высота неровностей по десяти точкам |
40,830 |
нм |
|
Параметры интервала |
|||
|
Sm |
Средняя ширина элементов профиля |
3,671 |
мкм |
|
S |
Среднее расстояние между локальными пиками (ГОСТ 25142) |
0,673 |
мкм |
|
Lq |
Среднеквадратичная длина волны профиля |
3,302 |
мкм |
|
La |
Средняя длина волны профиля |
4,519 |
мкм |
|
L0 |
Длина развернутого профиля |
3,330 |
мкм |
|
l0 |
Коэффициент развернутого профиля |
1,000 |
- |
|
D |
Плотность пиков профиля |
13,563 |
- |
|
Dq |
Среднеквадратичный наклон профиля |
0,0320 |
- |
|
Da |
Средний арифметический наклон профиля |
0,0234 |
- |
При этом величина среднеарифметического отклонения профиля Ra составила 14,092 нм.
Профиль шероховатости поверхности с диапазоном микронеровностей после струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки показан на рис. 7.
Рисунок 7 – Измерение профиля шероховатости поверхности
В результате проведенных исследований получены сканы поверхности образца из нержавеющей стали 08Х18Н9Т после струйной фокусированной электролитной плазменной обработки. Морфология поверхности сканов показывает, что поверхность имеет развитый микрорельф. На поверхности фиксируются следы остатков пиков вершин шероховатости, совпадающих с направлением шероховатости в виде гребней и впадин микронеровностей (рис. 8, а, б).
На сканах наблюдается единичный дефект каплевидной формы с размером около
1 мкм (рис. 8, а, б, левый верхний угол). Первичное предположение о наличии в этом месте электрического разряда не подтверждается самой формой дефекта, который мог быть получен вследствие прокатки металла листа стали 08Х18Н9Т. Кроме этого дефекты разного диаметра и также угловатой формы наблюдаются на исходных образцах до обработки и на образцах после струйной электролитно-плазменной обработки. Характерно, что внешний вид дефектов не имеет округлой формы в виде сфер, присущих искровому разряду, а имеет неправильные заостренные формы. Это ставит под сомнение их происхождение, как электроискровых разрядов.
Анализ результатов измерений (рис. 8, в, г) показывает, что при изменении диапазона измерений минимальная величина параметра шероховатости поверхности Ra лежит в диапазоне измерений 4,20-4,40 нм. При этом базовая длина измерения шероховатости составляет величину 10 мкм.
3.2.2 Динамика изменения параметра шероховатости поверхности Ra в процессе струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки
Анализ динамики изменения шероховатости после струйной фокусированной электролитно-плазменной обработки показывает, что возможность получения низких параметров шероховатости имеется при снижении исходного параметра шероховатости поверхности Ra до диапазона 0,4-0,1 мкм. Превышение этого диапазона ведет к увеличению волнистости поверхности, росту финишного параметра шероховатости поверхности Ra или технологически неоправданному увеличению времени обработки, а в отдельных случаях, к невозможности получить заданный параметр шероховатости Ra.
Динамика изменения параметра шероховатости поверхности Ra от времени обработки представлена на рис. 9. Время достижения заданного параметра во многом зависит от исходного состояния поверхности, выбора электролита, условий формирования плазмы.
4 Обсуждение и заключение
Анализ результатов проведенных исследований показывает, что комбинированная обработка позволяет в широких пределах изменять параметр шероховатости поверхности Ra от начальных значений Ra 80 мкм до чрезвычайно малых величин Ra 0,004 мкм, полученных нами на базовой длине 10 мкм. Это означает, что технологически возможно изменение параметра шероховатости поверхности Ra до заданной величины после механической обработки во всем диапазоне значений за счет струйной комбинированной обработки.
Результаты, полученные в исследованиях, значительно превосходят значения параметров шероховатости после электролитно-плазменной обработки в ванне (Ra 0,06–0,01 мкм) для нержавеющих сталей [13-15].
Полученные зарубежными авторами [20,21] величины среднеарифметической высоты поверхности Sa 80 нм и Sa 29 нм при обработке струей электролита значительно больше в сравнении с достигнутыми нами результатами среднеарифметической высоты поверхности Sa 11,713 нм, зафиксированными на атомно-силовом микроскопе модели Ntegra Aura.
Исследования морфологии поверхности после финишной струйной электролитно-плазменной обработки показывают, что поверхность не имеет видимых следов от единичных разрядов. Это может говорить о том, что величина энергии единичных разрядов при обработке наноповерхностей значительно меньше, чем указанные нами в работе [30]. Предполагается, что энергия единичного разряда необходимого для финишной обработки поверхности с наноразмерной шероховатостью составляет E = 1 · 10-6 – 1 · 10-7 Дж.
|
в) |
|
г) |
|
а) |
|
б) |
|
а) расстояние от поверхности Рисунок 8 – Морфология поверхности образца из стали 08Х18Н9Т,
|
1, 2 образцы ‒ сталь 20Х13(РЭМ); 3-й образец ‒ поверхность стали 08Х18Н9Т (РЭМ);
4 образец ‒ поверхность стали 08Х18Н9Т(АСМ)
Рисунок 9 – Изменение параметра шероховатости поверхности Ra
и морфологии поверхности в зависимости от времени обработки
Выводы:
- В процессе струйной комбинированной фокусированной обработки возможно снижение параметра шероховатости Ra с ~80 мкм до ~0,004 мкм, что охватывает практически весь диапазон шероховатости после механической и SLM обработки.
- Струей электролита при объемных расходах Q = 10-90 л/ч возможно получение параметра шероховатости Ra 0,2 мкм как для нержавеющих сталей, полученных технологией SLM (AISI 316L), так и для никелевых жаропрочных сплавов типа ЭП648, Инконель 718.
- Струйным фокусированным электролитно-плазменным разрядом возможно получение предельно малой величины шероховатости поверхности, подтвержденное измерениями на атомно-силовом микроскопе для среднеарифметической высоты поверхности Sa 11,713 нм на площади измерения 2499,515 мкм2.
- Технологически возможно получение чрезвычайно малой величины шероховатости до Ra 0,004 мкм, что подтверждается измерениями на атомно-силовом микроскопе на базовой длине 10 мкм.
- На поверхности с параметром шероховатости Ra 0,004 мкм после струйной фокусированной обработки не фиксируется следов от электрических разрядов. При этом поверхность выглядит сглаженной. Это может говорить о том, что для разряда подобно тлеющему энергия единичных разрядов, воздействующих на поверхность, может составлять E = 1 · 10-7 – 1 · 10-8 Дж.
Благодарность Автор выражает благодарность графическому дизайнеру Диане Александровне Поповой за подготовку иллюстраций.
1. Степанова, Т. Д. Технологический суверенитет России как элемент экономической безопасности / Т. Д. Степанова // Экономика: вчера, сегодня, завтра. – 2022. – Т. 12, № 9-1. – С. 567-577. – DOIhttps://doi.org/10.34670/AR.2022.19.76.044. – EDN JNNZEN.
2. Петров, В.В. Технологический суверенитет России: концептуальные подходы и прак-тическая реализация // Проблемы развития экономики. - 2020. - Т. 26, № 2. - С. 47-56.
3. Роль университета в интеграции образования, науки и бизнеса / С. И. Головкина, А. И. Попова, С. А. Черногорский, Н. В. Валебникова // Университет как фактор модернизации России: история и перспективы (к 55-летию ЧГУ им. И.Н. Ульянова) : Материалы Международной научно-практической конференции , Чебоксары, 18 октября 2022 года. – Чебоксары: Общество с ограниченной ответственностью «Издательский дом «Среда», 2022. – С. 138-140. – EDN NERYTD.
4. Принципы построения автоматизированных систем поддержки жизненного цикла инновационных продуктов / А. И. Надеев, А. И. Попова, А. В. Сурина, Ю. К. Свечников // Датчики и системы. – 2006. – № 11. – С. 59-63. – EDN KWMQTP.
5. Нано/микротекстурирование поверхностей для антибактериальной защиты / А. А. Настулявичус, С. И. Кудряшев, Н. А. Смирнов [и др.] // Лазерные, плазменные исследования и технологии - ЛаПлаз-2018: Сборник научных трудов IV Международной конференции, Москва, 30 января – 01 2018 года. – Москва: Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ", 2018. – С. 537-538. – EDN YUMHTV.
6. Sub-picosecond laser surface modification of Ti–Ni alloy and its antibacterial activity / I. N. Saraeva, A. A. Nastulyavichus, I. V. Sozaev [et al.] // Laser Physics Letters. – 2023. – Vol. 20, No. 11. – P. 115602. – DOIhttps://doi.org/10.1088/1612-202x/acfd93. – EDN XFNXXP.
7. A bacterial misericorde: Laser-generated silicon nanorazors with embedded biotoxic nano-particles combat the formation of durable biofilms / I. N. Saraeva, E. R. Tolordava, A. A. Nastul-yavichus [et al.] // Laser Physics Letters. – 2020. – Vol. 17, No. 2. – P. 025601. – DOIhttps://doi.org/10.1088/1612-202X/ab5fca. – EDN SUYAUN.
8. Патент № 2799364 C1 Российская Федерация, МПК C23C 18/44, A61L 27/28, A61L 27/54. Способ получения антибактериального покрытия на поверхности сплавов на основе титана медицинского назначения: № 2022131663: заявл. 05.12.2022: опубл. 05.07.2023 / Т. О. Теп-лякова, А. С. Конопацкий, С. Д. Прокошкин; заявитель Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСИС". – EDN PLOISS.
9. Шальнов, В.А. Шлифование и полирование высокопрочных материалов / В. А. Шальнов. – Москва: Машиностроение, 1972. – 271 с.: ил.: 9000.00.
10. Назарова, Д. Ю. Анализ методов химического и электрохимического полирования сплава алюминия АМг6 / Д. Ю. Назарова, А. М. Гайдукова // Успехи в химии и химической технологии. – 2023. – Т. 37, № 14(276). – С. 72-74. – EDN XCJQTM.
11. Строилов, А. М. Сравнительный анализ отражательной способности сплава алюминия Д16 после химического и электрохимического полирования / А. М. Строилов, А. М. Гайдукова // Успехи в химии и химической технологии. – 2022. – Т. 36, № 4(253). – С. 113-115. – EDN LEGDSN.
12. Электроэрозионная обработка металлов / К. Е. Анохин, И. В. Гузь, Д. С. Солдатов, Д. А. Носков // Результаты современных научных исследований и разработок: сборник статей XIX Всероссийской научно-практической конференции, Пенза, 23 января 2023 года. – Пенза: Наука и Просвещение (ИП Гуляев Г.Ю.), 2023. – С. 30-32. – EDN QUZEHJ.
13. Parfenov, E.; Mukaeva, V.; Farrakhov, R. Plasma electrolytic treatments for advanced sur-face finishing technologies. Mater. Technol. Des. 2014, 1, 34–41.
14. Захаров, С. В. Ионизационная модель электролитно-плазменного полирования / С. В. Захаров, М. Т. Коротких, Е. В. Гонибесова // Неделя науки СПбПУ : Материалы научной конференции с международным участием. В 2-х частях, Санкт-Петербург, 18–23 ноября 2019 года. Том Часть 2. – Санкт-Петербург: Политех-Пресс, 2020. – С. 255-258. – EDN PNORZK.
15. А. Ю. Королёв, В. А. Томило, В. С. Нисс Энергетические характеристики стадии формирования парогазовой оболочки при электролитно-плазменной обработке. Доклады Национальной академии наук Беларуси, V. 68, N 4, c. 344-352, 2024 https://doi.org/10.29235/1561-8323-2024-68-4-344-352 EDN: https://elibrary.ru/IMMWPO
16. Wang J, Zong XM, Liu JF, Feng S (2017) Influence of voltage onelectrolysis and plasma polishing. ICMEIM 2017. Atlantis Press:2352-5401. https://doi.org/10.2991/icmeim-17.2017.333.
17. Smyslova MK, Tamindarov DR, Plotnikov NV, Modina IM, Semenova IP (2018) Surface electrolytic-plasma polishing of Ti-6Al-4V alloy with ultrafine-grained structure produced by severe plastic deformation. IOP Conf Ser: Mater Sci Eng IOP Publishing 461(1):012079. https://doi.org/10.1088/1757-899X/461/1/012079 EDN: https://elibrary.ru/BFSXWW
18. Анализ морфологии поверхности после струйной электролитно-плазменной обработки SLM-материалов / К. Л. М. Диату, Д. Н. Иванов, С. Ю. Симонов [и др.] // Современное машиностроение. Наука и образование. – 2024. – № 13. – С. 683-696. – DOIhttps://doi.org/10.18720/SPBPU/2/id24-130. – EDN IMSCVE.
19. Оценка возможности полирования нержавеющих сталей струйной электролитно-плазменной обработкой / М. В. Новоселов, Н. Г. Шиллинг, А. А. Рудавин [и др.] // Вестник Пермского национального исследовательского политехнического университета. Машиностроение, материаловедение. – 2018. – Т. 20, № 1. – С. 94-102. – DOIhttps://doi.org/10.15593/2224-9877/2018.1.10. – EDN YVASNY.
20. Huang, Y., Wang, C., Ding, F. et al. Principle, process, and application of metal plasma electrolytic polishing: a review. Int J Adv Manuf Technol 114, 1893–1912 (2021). https://doi.org/10.1007/s00170-021-07012-7 EDN: https://elibrary.ru/EBQDYK
21. Ghezri, A.; Pratama, K.; Scholl, Y.; Küenzi, A.; Nelis, T.; Burger, J.; Bessire, C. Energy Ef-ficient Jet Polishing via Electrolytic Plasma Enhances Corrosion Resistance in Stainless Steel. J. Manuf. Mater. Process. 2024, 8, 289. https://doi.org/10.3390/jmmp8060289 EDN: https://elibrary.ru/VYAOPR
22. Патент № 2623555 C1 Российская Федерация, МПК C25F 7/00. Установка для электролитно-плазменной обработки турбинных лопаток: № 2016120180: заявл. 24.05.2016: опубл. 27.06.2017 / А. И. Попов, М. М. Радкевич, В. Н. Кудрявцев [и др.]; заявитель федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого" (ФГАОУ ВО "СПбПУ"). – EDN USJMHW.
23. Технические условия ТУ 4254-001-58699387-2010: Нормативные и технические до-кументы, устанавливающие требования к микроскопам, сканирующим зондовым Ntegra SPEC-TRA, Ntegra PRIMA, Ntegra VITA, Ntegra THERMA, Ntegra AURA, Ntegra MAXIMUS, Ntegra SO-LARIS, Ntegra SOLARIS Duo, Ntegra TOMO, Ntegra LIFE
24. ГОСТ Р 8.700-2010 НАЦИОНАЛЬНЫЙ СТАНДАРТ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ Государственная система обеспечения единства измерений МЕТОДИКА ИЗМЕРЕНИЙ ЭФФЕК-ТИВНОЙ ВЫСОТЫ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ С ПОМОЩЬЮ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО АТОМНО-СИЛОВОГО МИКРОСКОПА State system for ensuring the uniformity of measurements. Methods of surface roughness effective height measurements by means of scanning probe atomic force microscope.
25. Попов, А. И. Анализ условий формирования плазмы в струе электролита при обработке поверхности анода в диапазоне 20-500 в / А. И. Попов // Воронежский научно-технический Вестник. – 2024. – Т. 3, № 3(49). – С. 3-16. – DOIhttps://doi.org/10.34220/2311-8873-2024-1-1. – EDN FLXDZE.
26. ГОСТ 27964-88. Измерение параметров шероховатости. Термины и определения.
27. ISO 21920-2:2021 Geometrical product specifications (GPS) — Surface texture: Profile Part 2: Terms, definitions and surface texture parameters.
28. ГОСТ Р ИСО 4287-2014. Национальный стандарт Российской Федерации. Геометрические характеристики изделий (GPS). Структура поверхности. Профильный метод. Термины, определения и параметры структуры поверхности
29. ГОСТ 25142— 82 (СТ СЭВ 1156—78). Шероховатость поверхности. Термины и определения.
30. Попов, А. И. Атомно-дислокационная модель удаления поверхностных слоев струйным электролитно- плазменным полированием / А. И. Попов // Воронежский научно-технический Вестник. – 2024. – Т. 1, № 1(47). – С. 31-51. – DOIhttps://doi.org/10.34220/2311-8873-2024-31-51. – EDN DWAPMM.
